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400-677-0098
氮化铝烧结炉(立式)
氮化铝烧结炉(立式)
产品描述:
氮化【huà】铝烧结炉(立式)主要用于半【bàn】导体领域的氮化铝等陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结
应用范围:
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加【jiā】热器、结构件【jiàn】。

氮化铝烧结炉(立式)技术特征

采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好;

全密闭马弗,密封效果好,抗污染能力强;

可具备真空烧结、负压脱脂烧结、载气脱脂烧结等功能;

可选配脱脂系统,实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理方式;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氮化铝烧结炉(立式)产品规格

参数\型号VSN-0612VSN-0812VSN-1015
工作区尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ900×1700φ1000×1500
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.67

以上参数【shù】可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

氮化铝烧结炉(立式)配置选择

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC/陶瓷

热电偶:K/N/C/S分度号(钨套管/钼套管/陶瓷管)

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高性能陶瓷热工装备

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